解决方案
SOLUTION
惯性敏感器的基本原理及其分类
惯性敏感器(Inertial Sensors)又称惯性器件或惯性仪表，主要是指各种陀螺仪和加速度计，分别用来测量载体的角运动和线运动。其中，陀螺仪测量角运动，加速度计测量线运动加速度。“惯性”的含义为...
探索工艺方案以提高 DRAM 设备性能
在先进的半导体制造领域，创建精确的器件轮廓（边缘形状）是实现目标片上电气性能的重要步骤。例如，DRAM 存储器器件中的鞍形鳍轮廓必须在工艺开发过程中精确制造，以避免存储器性能问题。在 DRAM 器件中...
半导体加工中的线和表面粗糙度建模
线边缘粗糙度 (LER) 是芯片内部结构一个边缘的光刻图案宽度变化。线边缘粗糙度可能是先进逻辑和存储器件中的关键变化源和缺陷机制，并可能导致器件性能不佳甚至器件故障 [1~3]。沉积-蚀刻循环是一种有...
如何通过仿真降低MEMS设计和制造过程中的风险
对于MEMS（微机电系统）的设计和开发，仿真技术是一项至关重要的工具。MEMS是一种微型化的机械和机电设备，采用了最初为制造半导体而开发的方法制造。在物联网（IoT）时代，MEMS器件扮演着传感器和执...
三轴陀螺仪实例|MEMS陀螺仪业界验证
Coventor软件作为MEMS自动化设计的领导者，服务于大多数全球领先的MEMS厂商，其中不乏成功的微陀螺仪案例。以下以Murata Electronics Oy公司的一款商用三轴陀螺仪产品为例，展...
微热辐射仪工作过程分析
在实际中，微热辐射仪吸收的辐射通过一个电路来检测。当传感器吸收入射辐射，器件温度升高，电阻变化。同时，为了检测该电阻的变化，热敏电阻受到一个电信号的激励。本章节，使用Potential Surface...
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