解决方案
SOLUTION
MEMS陀螺仪自动化设计的领导者
Coventor软件作为MEMS自动化设计的领导者，为全球大多数顶尖的MEMS厂商提供服务，其中不乏成功的微陀螺仪案例。以下以Murata Electronics Oy公司的一款商用三轴陀螺仪产品为例...
MEMS+全面集成的产品开发平台
MEMS+是一个针对MEMS及MEMS+IC设计、仿真、产品开发为一体的集成平台。MEMS器件通常包括MEMS传感或执行及IC。但是在传统的MEMS设计中，MEMS设计与IC设计流程之间是断开的，这导...
微波谐振器研究现状与发展趋势
随着早期体声波技术的发展，1984年，S.Krishnaswamy等人在GOMAC会议上做了将薄膜体声波谐振器用于RF超大规模集成电路的报告；1987年B.R.McAvoy也发表了关于SAW和FBAR...
惯性敏感器的基本原理及其分类
惯性敏感器(Inertial Sensors)又称惯性器件或惯性仪表，主要是指各种陀螺仪和加速度计，分别用来测量载体的角运动和线运动。其中，陀螺仪测量角运动，加速度计测量线运动加速度。“惯性”的含义为...
探索工艺方案以提高 DRAM 设备性能
在先进的半导体制造领域，创建精确的器件轮廓（边缘形状）是实现目标片上电气性能的重要步骤。例如，DRAM 存储器器件中的鞍形鳍轮廓必须在工艺开发过程中精确制造，以避免存储器性能问题。在 DRAM 器件中...
半导体加工中的线和表面粗糙度建模
线边缘粗糙度 (LER) 是芯片内部结构一个边缘的光刻图案宽度变化。线边缘粗糙度可能是先进逻辑和存储器件中的关键变化源和缺陷机制，并可能导致器件性能不佳甚至器件故障 [1~3]。沉积-蚀刻循环是一种有...
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