解决方案
SOLUTION

如何通过仿真降低MEMS设计和制造过程中的风险
对于MEMS(微机电系统)的设计和开发,仿真技术是一项至关重要的工具。MEMS是一种微型化的机械和机电设备,采用了最初为制造半导体而开发的方法制造。在物联网(IoT)时代,MEMS器件扮演着传感器和执...
三轴陀螺仪实例|MEMS陀螺仪业界验证
Coventor软件作为MEMS自动化设计的领导者,服务于大多数全球领先的MEMS厂商,其中不乏成功的微陀螺仪案例。以下以Murata Electronics Oy公司的一款商用三轴陀螺仪产品为例,展...
微热辐射仪工作过程分析
在实际中,微热辐射仪吸收的辐射通过一个电路来检测。当传感器吸收入射辐射,器件温度升高,电阻变化。同时,为了检测该电阻的变化,热敏电阻受到一个电信号的激励。本章节,使用Potential Surface...
一文带你了解RF MEMS基础元件有哪些
RF MEMS器件主要可以分为两大类:一类称为无源MEMS,其结构无可动零件;另一类称为有源MEMS,有可动结构,在电应力作用下,可动零件会发生形变或移动。RF MEMS基础元件主要有以下几类:可变电...
振动式硅微机械陀螺仪的基本原理
在一个旋转的坐标系中讨论质点的运动时会有如下现象,当一个质点以速度v在惯性坐标系中直接运动时,如果旋转坐标系在惯性坐标系以角速度W转动,则在旋转坐标系中观测该质点时,质点不再沿原先v的方向运动,而是产...
MEMS-IC 设计的新平台和结构化方法
伴随着传感技术在汽车和消费电子产品的迅速普及,微机电系统(MEMS)在最近几年已进入主流。为了控制及信号调理,基于 MEMS 的传感器必然需要密切耦合的电子电路。本文介绍了一种 MEMS 器件设计,及...