解决方案
SOLUTION
气体封装MEMS惯性传感器中的Q因子
在 Coventor 的团队中，我们一直致力于改进我们的解决方案，解决真实世界中的 MEMS 设计问题我们对封装 MEMS传感器的包装材料持续感兴趣。一般来说，这些封装材料的目的是为了机械支撑传感器，并使其能够访问所需的信号同时，这些封装材料还可以提供环境护，并减轻过高温械负载等不希出现的影响 。
AirPods里的MEMS黑科技
AirPods开创了全新的TWS（True Wireless Stereo）耳机市场，只要戴在耳朵上就可以自动连接蓝牙，从耳朵上摘下自动暂停音乐播放，同时还能识别双耳佩戴或者单耳佩戴，从而自动进入不同的音效模式。如此智能的耳机，背后的最大功臣就是各种精巧的MEMS传感器。
MEMS技术应用于车载雷达
要了解MEMS扫描微镜（也叫MEMS振镜或扫描芯片）在车载激光雷达中的应用，还要从应用比较广泛的激光扫描投影MEMS微镜说起。MEMS微镜是一个硅结构的微型机械装置，采用光学MEMS技术制造，是将微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。
为什么要进行MEMS器件与CMOS电路进行一体化设计加工?
制造过程由标准 CMOS 工艺和与其兼容的 MEMS 微机械加工工艺共同完成。MEMS微机械加工和 CMOS 工艺的集成可以通过不同的方法来实现，外加的工艺模块及步骤可以在标准 CMOS 工艺流程之前（Pre-CMOS/MEMS)、之中 (Intra-CMOS/MEMS)或之后 (Post-CMOS/MEMS）进行。
光学MEMS设计与仿真
光学MEMS或MOEMS在数字投影领域取得了迄今为止最大的成功。最初的DLP（数字光投影）技术是由德州仪器公司开发的。DLP技术现在被用于投影仪、电视机、数字影院和增材制造。MOEMS正越来越多地被用于其他应用，包括无源光显示技术、光学网络、微型相机的聚焦和变焦机制，以及激光雷达设备中使用的扫描镜。为了满足复杂的MOEM设计要求，工程师们正在采用一种混合设计方法，该方法比定制模型开发具有显著优势，同时减少了对耗时且昂贵的构建和测试周期的需求。
MEMS射频开关及可变电容器的设计与仿真
静电驱动的RF MEMS开关和可变电容器使用“拉入”不稳定性来实现低功率驱动和锁存。高度的非线性，加上机械接触和制造效应（如薄膜应力梯度），使得创造高屈服和可靠的设计特别具有挑战性。因此，这些设备中的许多是在经过多年昂贵的硅学习周期后才推向市场的。在制造之前完成这些器件的快速、准确的模拟，可以消除许多耗时的设计周期。
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