解决方案
SOLUTION
气体封装式MEMS惯性传感器中Q因子的理解
在Coventor的应用团队中，我们一直在努力改进我们的解决方案，以解决实际的MEMS设计问题。我们持续关注封装技术，尤其是封装MEMS传感器。一般来说，这些封装的目的是为了机械支撑传感器，并允许其访...
汽车MEMS加速度计设计验证-一个真实案例
标准有限元 (FE) 模型，尤其是包含多个物理域的模型，由包含大量自由度 (DoF) 的设备的详细表示组成。设计中的自由度是描述设备运动或状态所需的独立变量或参数的数量。通常，自由度数越大，对计算资源...
线边缘粗糙度 (LER) 如何影响高级节点的半导体性能？
一、介绍BEOL 金属线 RC 延迟已成为限制高级节点芯片性能的主导因素 [1]。更小的金属线间距需要更窄的线 CD 和线间间距，这会引入更高的金属线电阻和线间电容。这在图 1 中得到了证明，该图显示...
RF MEMS开关：了解其运作、优势和未来
RF MEMS开关是一种小型微机械开关，具有低功耗，可以使用传统的MEMS制造技术生产。它们类似于房间里的开关，通过打开或关闭接触点来传导信号。在RF MEMS设备的情况下，开关的机械部件仅有几微米大...
使用共享工艺库加速半导体模块开发
预测半导体制造最终结果的最快方法之一是将执行各个工艺步骤的结果加在一起。不幸的是，这种预测可能会忽略组合过程序列中间出现的严重缺陷。这就是我们使用先进的计算机程序来模拟流程或模拟流程集成的原因——以了...
压电 MEMS 概述：原理、应用和未来
一、什么是压电？压电是某些材料在应变和应力下变得电极化的一种特性。自 18世纪中叶首次发现以来，这种现象已被广泛研究。压电材料可以响应于施加的机械应力而产生电荷，并且也可以在施加电荷时产生机械应力。这...
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