模拟静电驱动RF开关-ANALYZER

使用此最高级的3D场解算器的综合套件，可以分析、理解和验证任何基于MEMS或微流体设计的物理行为，优化MEMS特定的耦合物理条件。

使用CoventorWare的FEA,BEM和VOF分析工具，对器件的关键部分进行深入的多重物理场评估。我们的工具套件是首屈一指的，用于仿真MEMS几何结构和物理属性。

ANALYZER提供了一个用于执行复杂的、充分耦合的、多域的无缝环境，采用FEM,BEM和VOF方法分析MEMS器件。

ANALYZER的解算器是专为MEMS应用而设计的，包括静电、热-力、焦耳加热、压电、热弹性和锚阻尼、气体阻尼、频率相关阻抗和电感，以及计算微流体、电动力学、液滴形成等等。

许多商业上成功的MEMS器件除了电容效应外还依靠其他物理场的传感和驱动。在能量收集装置和高频谐振器中就利用了压电效应。压电电阻效应通常被用于绝对压力传感器，以及特殊的加速度计。也有依赖于电-热-机械效应（焦耳加热）作为主动力的MEMS致动器。用CoventorWare场解算器可以准确、有效地模拟所有这些设计在现实世界中的影响。

CoventorWare提供高精度和高效的谐波模拟，提供比直接谐波仿真更好的分辨率的谐响应仿真。

CoventorWare支持独特的、精确的和高效的用于仿真压电电阻（PZR）压力传感器的方法，利用传感器的力学响应和PZR材料的电响应之间的弱耦合。

MEMS+的描述

在 MEMS+中，MEMS 工程师在 Innovator 中装配，通过选择和组合 MEMS 模型库中的 MEMS 模型元件(积木块)。每个库组件有一个三维视图，以及一个先进的、准确的行为模型。当设计完成后，MEMS+可以自动生成一个参数化布局单元格(PCell) 、原理图符号和仿真模型。MEMS 或 IC 工程师将 MEMS 原件的原理图符号放置在 IC 原理中，并且在模拟混合信号(AMS)仿真器中，诸如 Cadence Spectre，运行仿真。MEMS 工程师也可以在 Scene3D 中可视化和动画仿真 MEMS 设备行为。

MEMS+ 中的特性

• 一种天然的三维设计输入接口

• Coventor 可靠的精确 MEMS 行为模式库

• 所有设计方面的自定义参数化，包括材料性能、工艺和几何

• 交互式或脚本驱动的设计输入

• 自动生成精确的 Cadence 行为模式

• 快速仿真复杂的、真实世界的 MEMS 和 MEMS+IC

• 自动生成 PCell

MEMS+非常适合依靠静电作用的 MEMS 产品设计：

• 运动传感器(加速计和陀螺仪)

• 微反射镜投影、显示和扫描器

• 可变电容器和开关

• RF 滤波器和谐振器